氮化铝陶瓷基片成型工艺

传统的成型工艺如干压、等静压成型等方法虽然适用于高性能 AlN块体材料的制备，但成本高、效率低，难以用于规模化生产。为突破AlN陶瓷传统成型方法的局限性，新型成型工艺如流延、注凝、注射成型应运而生，后两者主要适用于复杂形状的零件。

1、流延成型工艺

流延成型法也称括刀成型法，目前已成为高导热AlN陶瓷基片的主要成型工艺，AlN浆体内各添加剂如溶剂、分散剂、黏结剂和增塑剂的加入是改善其流动性、提高力学性能，从而制备高性能AlN陶瓷基片的重要因素之一。

2、流延等静压复合成型工艺

采用传统流延成型工艺所制备出的浆料固相体积含量较低，加上干燥阶段中部分有机溶剂的挥发，极易导致素坯中孔隙率的增加从而使坯体结构疏松化，弱化后期烧结效果，难以制备出高致密度、高导热AlN基片。

流延等静压复合成型工艺是基于非水基和水基流延成型的一种新型陶瓷基片成型工艺，既保留了流延成型素坯的延展性，又在此基础上采用等静压二次成型，弥补了前一成型过程留下的致密度低、结构松散等缺陷。